接觸式干涉儀是一種立式精密長(zhǎng)度計(jì)量?jī)x器，采用量塊或標(biāo)準(zhǔn)零件進(jìn)行高精度比較。它主要用于測(cè)量150mm以下的塊規(guī)，也可以用于高精度的長(zhǎng)度和外徑的精密測(cè)量。應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)制造準(zhǔn)直儀制造、光學(xué)刻蝕制造、金屬加工制造、航空航天制造等領(lǐng)域。接下來請(qǐng)跟著儀器檢定校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)華準(zhǔn)計(jì)量，一起來具體了解一下接觸式干涉儀校準(zhǔn)。
檢定前準(zhǔn)備：進(jìn)行接觸式干涉儀的檢定前，需要完成一系列的準(zhǔn)備工作。包括清潔儀器，檢查儀器的外表面及光路是否干凈，如有污物需清理干凈。同時(shí)確認(rèn)校準(zhǔn)裝置是否完好，并確認(rèn)校準(zhǔn)裝置與儀器之間的連接是否正常。還要確認(rèn)測(cè)量基準(zhǔn)是否與被測(cè)物體表面垂直，以及測(cè)量過程中是否會(huì)發(fā)生位移。
接觸式干涉儀校準(zhǔn)：通過校準(zhǔn)儀器的干涉條紋對(duì)齊，使其適應(yīng)被測(cè)物體表面的形態(tài)，以實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量。
接觸式干涉儀穩(wěn)定性校準(zhǔn)：通過比較同一光源下的兩個(gè)干涉圖案，來檢測(cè)干涉儀系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
接觸式探頭校準(zhǔn)：通過使用標(biāo)準(zhǔn)刀具進(jìn)行校準(zhǔn)，來確保探頭的測(cè)量精度和穩(wěn)定性。
另外，JJG101-2004《接觸式干涉儀》檢定規(guī)程還規(guī)定，儀器的示值誤差以二等量塊配對(duì)法檢定，檢定工作應(yīng)在分度值為0.2μm、受檢點(diǎn)為50分度時(shí)進(jìn)行。檢定時(shí)需要將濾光片放置在儀器上，調(diào)整干涉條紋使其對(duì)齊，以完成定標(biāo)工作。示值誤差的計(jì)算方法為Δ=0.03+1.5ni—刻度尺的分度值。在完成檢定后，應(yīng)該記錄各個(gè)檢定點(diǎn)的示值誤差并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。
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